影火半导体加热器平坦度测量仪用于测量半导体加热器的平坦度和平面度，测量精度高，测量稳定和可靠性好。该设备的测量精度可达4~5μm，重复性好。该设备具有3D显示功能，可以直观显示加热器平面的3D测量模型，易操作。本系统已应用到国际知名的电子生产公司，工作稳定可靠，具有非常好的智能性，受到客户认可好评。
性能指标：
- 测量精度10μm, 可选4~5μm；
- 重复精度2~3μm；
- 友好易用的操作控制界面和直观的数据显示；
- 方便易用的模型管理与创建；
- 支持与生产控制的工业总线数据和信号通信；
- 系统易维护。
应用领域：
- 平坦度检测。
- 半导体加热器。
- 半导体芯片平面度。
- 其它。
该系统具有非常高的运行稳定性和可靠性，并且具有丰富的外部接口和GPIO中断输入，支持工业通信，适合长时间工作，也适用于其他类似上料的应用。
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